회사 소식 반도체 공장 모듈형 클린룸의 특징은 무엇인가요?

모듈형 클린룸은 "건축 블록" 논리로 설계되어 반도체 공장이 특정 프로세스 요구 사항에 따라 공간 배열을 조정 할 수 있습니다.

예를 들어, 사진 리토그래피, 에칭 및 포장용 영역은 서로 다른 청결 수준 (ISO 1에서 ISO 9까지) 으로 독립적으로 구성 할 수 있습니다.

이 유연성은 생산 라인을 업그레이드 할 때 대규모 재건의 필요성을 제거하여 정지 시간을 크게 줄입니다.

일반적으로 알루미늄 합금 또는 진열 철강으로 만든 모듈 패널은 빠르게 조립 및 해제 할 수 있습니다.생산 규모의 변화에 따라 청정실 영역의 빠른 확장 또는 조정.

각 모듈형 청정실 단위는 통합 밀폐 시스템으로 설계되어 있습니다.

HVAC 시스템 또한 모듈화되어 있으며 각 섹션에 전용 공기 처리 장치 (AHU) 를 갖추고 있으며, 온도 (±0.5°C), 습도 (±2%) 및 입자 수를 정확하게 제어 할 수 있습니다.

고효율 미세먼지 공기 (HEPA) 또는 극저 침투 공기 (ULPA) 필터는 천장 및 벽 패널에 내장되어 있습니다.웨이퍼에 입자가 축적되는 것을 최소화하는 일방적인 라미너 공기 흐름을 제공합니다..

또한, 모듈형 청정실에는 바닥 배수 및 폐기물 관리 시스템이 통합되어 있으며, 오염 물질의 확산을 피하기 위해 특정 구역 내에서 위험한 물질을 포함합니다.