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필터링된 공기를 재순환시키는 것은 모듈형 클린룸 환기의 중추이며 대부분의 시설에서 전체 공기 공급의 70~90%를 차지합니다.
재순환 시스템의 HEPA(고효율 미립자 공기) 또는 ULPA(초저 침투 공기) 필터는 0.3 마이크론만큼 작은 입자를 99.97% 이상 포착하여 클린룸 등급(예: ISO 클래스 5 ~ ISO 클래스 8)을 유지합니다. 재순환은 신선한 공기에 대한 의존도를 줄여 외부 공기 조절 필요성을 최소화하여 에너지 비용을 절감합니다.
또한 일관된 공기 분배를 보장하여 오염 물질이 축적될 수 있는 정체 구역을 방지합니다. 그러나 재순환에 대한 과도한 의존은 청정실 내에서 생성된 오염물질(예: 공정 배출물, 인간의 생물학적 배출물)이 적절한 신선한 공기 없이는 충분히 희석되지 않을 수 있기 때문에 공기 질을 정체시킬 위험이 있습니다.

